Вакуумные электронно-лучевые напылительные установки

Электронно-лучевое испарение - это форма физического осаждения из паровой фазы, в котором материал наносимого покрытия находящийся в тигле подвергается бомбардировке пучком электронов (эмитированного с вольфрамового катода). Данный процесс происходит в высоко - вакуумной камере при давлении обычно не выше 10^-6 мбар (что позволяет получать более чистые покрытия). Атомы или молекулы, испарённые с поверхности материала (обычно распыляемый материал поставляется в виде гранул, слитков или таблеток), осаждаются на поверхности подложки и таким образом образуют тонкоплёночное покрытие.

Электронно-лучевое испарение, которое представляет собой процесс термического испарения, и магнетронное распыление являются двумя наиболее распространенными видами физического осаждения из паровой фазы (PVD). Из этих двух процессов, электронно-лучевая технология осаждения имеет ряд очевидных преимуществ для многих типов приложений.

Она допускает прямой перенос энергии электронного пучка в материал, что делает её идеальной для металлов с высокой температурой плавления. Электронно-лучевое испарение обладает более высокой скоростью напыления (от 0,1 до 100 нм/мин) в отличие от других PVD методов. Что в купе с ионным ассистированием позволяет значительно повысить плотность плёночных покрытий и адгезию к подложке.

Электронно-лучевое испарение также имеет очень высокую эффективность использования материала по сравнению с другими PVD методами. Что в свою очередь сокращает затраты на покупку дорогостоящих материалов. Электронно-лучевые системы нагревают только верхний слой исходного материала, а не весь тигель, что приводит к снижению степени загрязнения из тигля. Что также помогает снизить вероятность теплового повреждения подложки.

Из-за высокой скорости осаждения и высокой эффективности использования материалов, электронно-лучевое испарение используется в широком спектре приложений. Начиная от термостойких, износостойких, упрочняющих и антикоррозийных покрытий для аэрокосмической, автомобильной, металлообрабатывающей и химической промышленности. Заканчивая просветляющими, отражающими, олеофобными покрытиями и различных фильтров для оптики. Так, например, оптические покрытия, получаемые методом электронно-лучевого испарения, широко используются в лазерной оптики, солнечных батареях и покрытиях на очках.

Наша компания готова предложить установки электронно-лучевого напыления для оптических покрытий или иных по спецификации заказчика.